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产品展示

μ Phase高精度干涉仪

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μ Phase高精度干涉仪用于测量高精度要求的光学零件,材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等,被国家计量院,以及各大天文、光电研究所应用于精密光学检测,测量精度及稳定性已得到研究机构的广泛肯定。

应用范围:

可用于测量平面和球面光学零件

可完成各种类型的反射和透射检测

可采用透射法检测双胶合透镜

曲率半径测量

非球面、柱面、轮胎面等面型的测量

大型平面的检测

光学材料的均匀性检测

理想的成盘抛光分块镜面型检测

典型应用

μPhase? SPHERO UP μPhase? PLANO UPμPhase? Plano Down

l  用于测量不同的平面和球面光学零件

l  操作直观而简单,适合非专业人士操作

l  测量范围

μPhase? Plano Down平面φ≤2 mm 150 mm

μPhase? PLANO UP平面φ≤2 mm 100 mm

μPhase? SPHERO UP球面曲率半径凸面2mm—225mm直径最大55mm

球面曲率半径凹面-3mm—-570mm

l  结构紧凑,占用空间下,可灵活的与产线结合

μPhase? Vertical

l  适用于厂房、车间、实验室的标准干涉仪检测系统

l  立式检测,结构紧凑,占地面积小

l  标配一个沿Z轴方向电动平移的平台,可选配第二个平台

l  倾斜及X/Y平移精调

l  可完成各种类型的反射与透射检测

l  可采用透射法检测双胶合透镜

l  凹面与凸面球面镜的检测范围:标准曲率半径范围:1mm-225mm,直径最大55mm(采用50mm物镜μLens PLANO 50

l  集成半径测量单元

l  可选CGH,用于测量非球面、柱面、轮胎面等

l  Z轴方向设置导轨电机,电动升降

l  曲率半径实现一键式自动测量

μPhase? UNIVERSAL 100

l  用于测量平面和球面的4英寸干涉检测系统

l  球面测量范围凹面曲率半径最大-3000mm(提供相应导轨)

l  平面测量范围:最大98mm

l  半径测量系统集成导轨和光栅尺

l  适合长焦光学零件和系统的检测

l  与市场上通用的4英寸标准球面物镜相兼容

l  可选旋转对称非球面的检测配件,检测范围10mm-80mmCGH检测轮胎面、柱面等

μPhase? Plano 300

l  理想的大型平面的检测系统,光学材料的均匀性检测系统

l  理想的成盘抛光分块镜面形检测系统

l  测量范围60-300mm

l  立式检测系统,其它检测方式根据要求可订制

l  具有重型光学元件的支承、调整等操作功能。  

技术规格:

测量原理

泰曼格林型相移式干涉仪,可转成菲索型

测量能力

光学反射面的面形、光学零件或系统的透过波前

激光波长

标配632.8nm335nm-1064nm间波长可选

PV重复精度

λ/400λ=632.8nm

RMS重复精度

λ/6500λ=632.8nm

测量不确定度

λ/20λ=632.8nm

相机分辨率

μPhase? 500500×500像素

μPhase? 10001000×1000像素

数字化位

8

激光器类型

稳频氦氖激光器

激光器防护等级

3A

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